碳化硅承载盘

 
 
 
西安中威(ZHWE)生产Φ380mm--Φ600mm半导体蚀刻盘,晶片承载盘,碳化硅载盘,SIC载盘,碳化硅拖盘、ICP刻蚀盘,刻蚀托盘,碳化硅纯度>99.9%,SIC托盘使用寿命是石墨基CVD载盘四倍,长期使用不变形,耐FH酸、浓H2SO4腐蚀,大幅节省碳化硅基CVD载盘使用成本50%,欢迎来电咨询